实用新型已授权

一种抛光垫、抛光装置

📄 申请号：CN202020844279.2 📄 发布日：2026/08/24

著录项目信息

申请日

2020-05-19

公开号

CN211465947U

公开日

2020-09-11

申请人

山东麦丰新材料科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B37_22

IPC 分类号

B24B37_22 , B24B37_26 ,

技术画像

所属领域

化学机械抛光化学机械抛光抛光材料半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 晶圆抛光, 集成电路, 精密表面处理, 硅片加工

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摘要

本实用新型公开了一种抛光垫、抛光装置，涉及用于加工平面的研磨垫技术领域。抛光垫包括从上至下依次设置的亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，亲水聚酰胺层表面设置有若干个凹槽，每个凹槽的深度小于亲水聚酰胺层的高度，每个凹槽内设置有填充部，填充部的高度小于凹槽的深度，填充部包括从上至下依次设置的第一填充层、第二填充层……第N填充层，相邻的两个填充层之间设置有分隔层，分隔层和填充层不连接。本实用新型的填充部包括至少两个填充层和将填充层分开的分隔层，在抛光垫使用一段时间后，揭开分隔层即可去除掉上侧的填充层，延长抛光垫的使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种汽车仪表台拉力检测机

当前第 / 件

一种自动喷水自动遮阳的种植大棚

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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