实用新型 已授权

一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器

📄 申请号:CN202323592316.8 📄 发布日:2026/08/21

著录项目信息

申请日
2023-12-28
公开号
CN222160471U
公开日
2024-12-13
申请人
迪森(常州)能源装备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

单晶硅拉晶, 光伏硅片制造, 半导体硅片制备, 晶体生长热场, 高温加热设备

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅炉腔体的底部加热装置及压力容器,该底部加热装置包括石墨加热器及电极,石墨加热器包括加热器本体及电极脚,加热器本体包括二个主体部、第一加热部、第二加热部及第三加热部,第二加热部位于第一加热部、第三加热部之间,且第二加热部的加热总面积大于第一加热部的加热总面积,第三加热部的加热总面积小于或等于第三加热部的加热总面积。上述底部加热装置通过在原石墨加热器结构的基础上,将其分成第一加热部、第二加热部及第三加热部,根据坩埚加热区域的区别,以第二加热部的加热总面积为最大,以节约其他部位的加热用能,降低能耗。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN222160471U

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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