发明专利 已授权

微小球的超精密研磨及在线修锐方法和装置

📄 申请号:CN202210816036.1 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-07-12
公开号
CN115229666B
公开日
2023-12-29
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密轴承加工, 光学元件制造, 半导体晶圆加工, 精密陶瓷加工, 微型零件制造

摘要

微小球的超精密研磨及在线修锐方法和装置,包括以下步骤:将待加工的微小球放入沟槽盘的V型沟槽中,手轮控制丝杠螺母转动,相应的,丝杆下移使非连续区域固着磨粒盘对待加工的微小球加压,同时,驱动结构带动沟槽盘做定轴匀速转动,进而带动待加工微小球在V型沟槽中滚动;非连续区域固着磨粒盘下端的固着磨粒块对待加工微小球表面进行研磨去除;沟槽盘上内侧和外侧的修整刷对固着磨粒块整个区域进行在线修锐,去除微小球研磨过程中嵌在固着磨粒块表面的微小球切屑和破碎磨粒,本发明通过非连续区域固着磨粒盘与沟槽盘的配合,以及选择固着磨粒块材料、加载压力的不同,适用于微小球高精度高一致性的批量加工。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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