发明专利 已授权

一种具有准零刚度特性的三自由度并联隔振平台

📄 申请号:CN201911154944.3 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-11-22
公开号
CN110778649B
公开日
2024-12-24
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密仪器隔振, 半导体制造设备, 光学平台, 航空航天设备, 工业设备减振

摘要

一种具有准零刚度特性的三自由度并联隔振平台,包括与外部基础平台连接的静平台、承载被隔振设备的动平台、支链、准零刚度机构;动平台底板12从形心为圆心每120度的径向都连接一个支链,支链架设在静平台的支撑架底板7上;在所述的径向位置动平台底板12支撑有竖直弹簧6,竖直弹簧6的底部支撑在静平台底板1上;动平台底板12通过转轴安装座19连接支链;所述支链包括第一转轴18、第二转轴18a和两个连杆11所组成的平行四边形机构,保证动平台在空间内运动时始终保持水平状态;水平弹簧10和竖直弹簧6构成所述的准零刚度机构。本发明结构简单紧凑,具有灵活的运动特性,满足空间三平移自由度隔振要求。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
图3

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