发明专利已授权

一种具有准零刚度特性的三自由度并联隔振平台

📄 申请号：CN201911154944.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-11-22

公开号

CN110778649B

公开日

2024-12-24

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16F15_04

IPC 分类号

F16F15_04 , G06F30_17 ,

技术画像

所属领域

并联机构并联机构振动隔离技术准零刚度机构

应用场景

精密仪器隔振, 半导体制造设备, 光学平台, 航空航天设备, 工业设备减振

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摘要

一种具有准零刚度特性的三自由度并联隔振平台，包括与外部基础平台连接的静平台、承载被隔振设备的动平台、支链、准零刚度机构；动平台底板12从形心为圆心每120度的径向都连接一个支链，支链架设在静平台的支撑架底板7上；在所述的径向位置动平台底板12支撑有竖直弹簧6，竖直弹簧6的底部支撑在静平台底板1上；动平台底板12通过转轴安装座19连接支链；所述支链包括第一转轴18、第二转轴18a和两个连杆11所组成的平行四边形机构，保证动平台在空间内运动时始终保持水平状态；水平弹簧10和竖直弹簧6构成所述的准零刚度机构。本发明结构简单紧凑，具有灵活的运动特性，满足空间三平移自由度隔振要求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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同领域国内专利 · IPC: (F16F15_04)

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