发明专利已授权

一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置

📄 申请号：CN201810466204.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-05-16

公开号

CN108608315B

公开日

2024-04-16

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_10

IPC 分类号

B24B37_10 , B24B47_12 ,

技术画像

所属领域

平面研磨平面研磨精密驱动控制研磨装备

应用场景

精密加工, 光学元件加工, 半导体晶圆加工, 模具制造, 机械零部件加工

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摘要

一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置，包括伺服电机、轴Ⅰ、齿轮Ⅰ、轴Ⅱ、齿轮Ⅱ、行星架、锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ、轴Ⅲ、双十字轴式万向联轴器、轴Ⅳ、固定支座、齿轮Ⅲ、导向齿轮Ⅰ、导向齿轮Ⅱ、保持架、齿轮环、用于对研磨盘进行修整且保证研磨盘的平面度的修整环、工件盘和机架；所述齿轮Ⅰ固定安装在所述轴Ⅰ的下端；所述齿轮Ⅱ通过内部的滚动轴承套装在轴Ⅱ的中部上，且与齿轮Ⅰ相啮合，所述行星架的上端通过焊接与齿轮Ⅱ的轮毂固定连接，所述锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ和行星架组成行星轮系。本发明提供了一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置，在一定转速范围内通过调节转速比为无理数数值，能够显著提高研磨加工效率和工件加工表面质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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