发明专利已授权

一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法

Name: 一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2019106850182
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910685018.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-07-26

公开号

CN110405621B

公开日

2021-02-09

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_005

IPC 分类号

B24B37_005 , B24B37_11 , B24B37_34 , B24B53_017 , B24B49_12 , G01B11_24 ,

技术画像

所属领域

精密加工精密加工光学制造抛光工艺

应用场景

光学元件加工, 精密磨抛, 高端装备制造, 半导体基片加工, 精密模具制造

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摘要

本发明公开了一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法，包括如下步骤：(1)根据工件的加工要求确定工件的理论面形；(2)检测工件的实际面形特征；(3)将工件的实际面形与理论面形相拟合确定工件的面形误差，利用等高线加工法得到等残余误差并将等残余误差分级加工；(4)根据材料的去除分布选择合适参数组合的研抛工具；(5)根据所确定的去除深度从去除函数库中选择合适的工艺参数，规划合适的路径以及合适的进给速度便可实现每一个单层的均匀去除。本发明的加工方法能够更好的实现按需定量去除，材料的去除具有可预见性，因此可以提高加工效率和加工质量。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110405621B

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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