发明专利已授权

具有载物补偿功能的气浮导轨平台

Name: 具有载物补偿功能的气浮导轨平台
Brand: 杭州电子科技大学
SKU: 2016103624379
Availability: InStock

📄 申请号：CN201610362437.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-05-26

公开号

CN105834763B

公开日

2017-12-22

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_38

IPC 分类号

B23Q1_38 , F15B21_04 , F15B21_08 ,

技术画像

所属领域

气浮导轨气浮导轨精密定位平台误差补偿

应用场景

精密加工, 精密测量, 半导体制造, 光学仪器, 微纳制造

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摘要

本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。本发明能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN105834763B

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：53 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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