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本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔;气浮轴套安装孔内设置气浮轴套;气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器;气嘴安装孔内放置气嘴,供气模块给气嘴供气;载物台与所有气浮模块的气浮块固定,驱动模块驱动载物台;气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合;气浮轴套的外圆面开设多个环形槽;每个环形槽底部开设通气孔组;通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔;每个通气孔内设置一个小孔节流器;所有环形槽的侧部相通,并与气浮块的气嘴安装孔连通。本发明能实时获取气浮模块高度信号,并对载物台高度进行实时补偿,提高加工精度。
📄 2016103624379 📂 B23Q1_38 👤 杭州电子科技大学 📅 2016-05-26
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发明 已授权

具有载物补偿功能的气浮导轨平台

2016103624379 · 杭州电子科技大学
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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固态锂电池电解质专利包

转让方:中国科学院××研究所
受让方:××新能源科技有限公司
交易类型:独占许可
交易金额:¥320万
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CRISPR基因编辑技术

转让方:××大学
受让方:××生物医药有限公司
交易类型:转让
交易金额:¥1,200万
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SiC功率器件工艺专利

转让方:××半导体有限公司
受让方:××汽车电子集团
交易类型:转让
交易金额:¥680万
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钙钛矿光伏组件技术

转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年