本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔;气浮轴套安装孔内设置气浮轴套;气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器;气嘴安装孔内放置气嘴,供气模块给气嘴供气;载物台与所有气浮模块的气浮块固定,驱动模块驱动载物台;气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合;气浮轴套的外圆面开设多个环形槽;每个环形槽底部开设通气孔组;通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔;每个通气孔内设置一个小孔节流器;所有环形槽的侧部相通,并与气浮块的气嘴安装孔连通。本发明能实时获取气浮模块高度信号,并对载物台高度进行实时补偿,提高加工精度。
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📂 B23Q1_38
👤 杭州电子科技大学
📅 2016-05-26