发明专利已授权

低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构

📄 申请号：CN201710425889.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-06-08

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_183

IPC 分类号

H01S5_183

技术画像

所属领域

电极结构光通信器件半导体激光器光电子器件电极结构

应用场景

光通信, 数据中心, 光互连, 通信网络, 光模块

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摘要

本发明公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构，由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、一对上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本发明采用了将低电阻GaAs基隧道结和氧化限制层相结合的小尺寸圆形台面的顶发射共面电极结构，以提高光通讯激光器的高速低能耗性能。该结构选用的BCB填充，不仅能够提供平坦的GSG电极平面，还能降低器件的寄生，提高器件的调制带宽；该结构采用不同尺寸的双台面结构提高器件热耗散能力，此结构不需要额外的热沉和散热片，且能够实现器件的直接高速共面探针测试，且可以避免底发射的减薄倒置，降低加工难度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：36 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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