发明专利已授权

基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法

📄 申请号：CN201810797550.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-07-18

公开号

CN110736721B

公开日

2022-05-24

申请人

科谱(宁波)科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41

技术画像

所属领域

衍射光栅光学检测精密测量衍射光学元件检测装置衍射光栅

应用场景

玻璃质量检测, 光学元件制造, 平板显示制造, 精密加工, 材料均匀性评估

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摘要

本发明涉及基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法，该装置包括波长可调光源，沿波长可调光源出射光线光轴方向依次设置扩束镜、针孔光阑、准直镜、可调狭缝和反射式平面衍射光栅，反射式平面衍射光栅6的工作面与所述出射光线光轴之间构成20—45°的入射夹角，在反射式平面衍射光栅的下方竖直依次设光学成像镜头和CCD图像采集系统，CCD图像采集系统连接计算机；在反射式平面衍射光栅和光学成像镜头之间设置待测件。本发明的光路系统实现了大厚度、折射率变化大的光学玻璃的空间折射率均匀性分布的非接触式测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种水产加工装置及加工方法

当前第 / 件

一种室内可见光单极性OFDM通信系统的实现方法

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