发明专利已授权

基于等离子体点燃时间判别薄膜损伤的方法及装置

📄 申请号：CN201811022571.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-09-03

公开号

CN109682795A

公开日

2019-04-26

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_73

IPC 分类号

G01N21_73

技术画像

所属领域

薄膜损伤检测薄膜损伤检测激光等离子体诊断光学薄膜技术

应用场景

高功率激光系统, 光学薄膜质量检测, 激光元件损伤监测, 光学元件制造, 工业无损检测

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摘要

本发明公开了一种基于等离子体点燃时间判别薄膜损伤的方法及装置。解决了等离子体闪光法对薄膜损伤识别的误判问题，技术方案是：用至少三个探测器分别获取空气和薄膜等离子体闪光信号及入射激光信号，以后者为基准，得到空气和薄膜等离子体闪光点燃时间，准确分辨出空气和薄膜等离子体闪光，消除误判。实现步骤是分别采集基准和闪光信号；获取基准和闪光信号起始时刻；以基准和闪光信号起始时刻之差作为闪光点燃时间；建模计算闪光点燃时间；比较并得出损伤识别判据。本发明建立的点燃时间计算模型，可针对任意单层薄膜；装置结构简单，测量精度达0.1ns，能准确进行薄膜损伤识别，可靠性好。本发明应用于强激光作用下的光学薄膜损伤判别。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230922

✅ 授权

20190521

?? 实质审查的生效：

20190426

📄 公开

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