发明专利已授权

实时测量Mueller矩阵光谱的系统及其测量方法

📄 申请号：CN201910899485.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-09-23

公开号

CN110567883B

公开日

2022-07-01

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_21

IPC 分类号

G01N21_21 , G06F17_14 ,

技术画像

所属领域

偏振光谱测量偏振光谱测量穆勒矩阵测量光学测量系统

应用场景

材料光学特性表征, 生物医学检测, 薄膜测量, 半导体检测, 偏振成像

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摘要

本发明公开了实时测量Mueller矩阵光谱的系统，包括沿入射光线的入射方向依次设有光源、光纤、准直系统、起偏器、第一延迟器、第二延迟器、样品台、第三延迟器、Wollaston棱镜、光谱仪组。本发明还公开了实时测量Mueller矩阵光谱的方法，对光谱仪获取的光谱强度进行傅里叶变换、通道滤波与傅里叶逆变换可复原被测样品表面出射的Stokes矢量S，对S中的四个Stokes参数进行傅里叶变换、通道滤波与傅里叶逆变换可复原出16个Mueller矩阵元素的光谱。本发明避免了通道串扰，测量准确性高，可操作性强。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220701

✅ 授权

20200107

?? 实质审查的生效：

20191213

📄 公开

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议价

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