发明专利已授权

一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法

📄 申请号：CN202010211865.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-03-24

公开号

CN111307742B

公开日

2023-01-17

申请人

聊城大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_31

IPC 分类号

G01N21_31 , G01D5_26 , G02B6_02 ,

技术画像

所属领域

光纤传感器光纤传感器导模共振光学传感传感器制备工艺

应用场景

环境监测, 生物医学检测, 工业过程监控, 食品安全检测, 国防安全

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摘要

本发明公开了一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤A，在单模光纤上切割出一个与光纤轴向呈90°垂直的端面，并对所述端面进行打磨抛光；步骤B，利用溅射或化学气相沉积方法在所述端面上生长一层高折射率均匀薄膜，作为波导层；步骤C，利用光刻加刻蚀方法在波导层的表面制备光栅结构；所述光栅结构的区域尺寸不小于20×20微米；步骤D，利用聚焦离子束系统在光栅区两个相对位置分别刻蚀一个沟槽；步骤E，利用聚焦离子束系统在两个沟槽的内侧壁上沉积一层约300nm厚度的贵金属薄膜。该方案可以有效提高光纤RWG结构的共振信号，提高信噪比，从而可以达到实用化要求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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