发明专利已授权

一种干涉型气体传感器及其工作方法

📄 申请号：CN202010416016.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-05-16

公开号

CN111504950A

公开日

2020-08-07

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_45

IPC 分类号

G01N21_45 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

气体传感器光学传感器干涉测量气体检测气体传感器

应用场景

环境监测, 工业安全, 气体泄漏检测, 医疗呼吸分析, 智能家居

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摘要

本发明公开一种光学干涉型气体传感器及其工作方法，该传感器包括光源、光纤、测量臂、参考臂和光探测器；测量臂分子交换膜能够使直径小于等于被测气体的气体分子进入，参考臂分子交换膜只能使直径小于被测气体的气体分子进入，进入了测量臂和参考臂的光的相位由于所进入气体分子的折射率以及气体分子数量的不同，而产生了不同的变化，而这两束光的相位差反映了被测气体和参考气体的浓度差，光探测器探测到光强的变化后，推算出被测气体浓度的变化；由于本发明气体传感器采用的是光的干涉原理，光学干涉的分辨率在纳米级，因此其灵敏度将会得到极大的提升，并且该传感器的参考臂是可拆卸型，可根据所需要检测的气体进行相应参考臂的更换。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于三维石墨烯的集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法

当前第 / 件

集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法

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