发明专利已授权

角分辨散射检测装置的多轴运动系统和检测方法

📄 申请号：CN202010613482.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-06-30

公开号

CN111707616B

公开日

2023-02-21

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_01

IPC 分类号

G01N21_01 , G01N21_49 ,

技术画像

所属领域

检测装置光学散射测量精密运动控制多轴运动系统检测装置

应用场景

半导体晶圆检测, 光学元件表面检测, 精密加工质量检测, 纳米结构测量, 科研实验设备

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摘要

本发明涉及角分辨散射检测装置的多轴运动系统和检测方法。以克服现有技术存在的接卸结构复杂，对运动控制系统的运行速度要求高的问题。本发明样品台的三维平移台的Y轴平移台台上固设有样品夹持器；一维旋转台的手动旋转台的台面上部与X轴平移台的底部连接；手动旋转台的台面外端可调安装座与支撑板固连；探测器模块的大旋转台的台面上固设有支撑台；支撑台的环状平面套设于立柱并夹持在支撑板和大旋转台之间，环状平面一个边缘一体化延伸出平板结构，支撑台与大旋转台同时运动时改变散射角和散射方位角的大小；支撑台的平板结构端部垂直设置有支杆，支杆上装有夹持器，小旋转台底部固连夹持器，小台面上连接探测器臂一端，探测器臂另一端固定探测器。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

经济型数控机床门机联动装置及控制方法

当前第 / 件

一种糖基化光子晶体水凝胶及其在流感病毒检测中的应用

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