发明专利已授权

一种有机膦酸羧酸钠显影促进剂及其制备方法

📄 申请号：CN202210539339.3 📄 发布日：2026/07/06

著录项目信息

申请日

2022-05-17

公开号

CN114957320A

公开日

2022-08-30

申请人

南阳柯丽尔科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C07F9_30

IPC 分类号

C07F9_30 , G03C1_295 ,

技术画像

所属领域

显影促进剂显影促进剂有机膦酸化合物光刻工艺化学品

应用场景

半导体制造, 光刻显影工艺, 电子化学品, 集成电路制程

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摘要

本发明公开了一种有机膦酸羧酸钠显影促进剂及其制备方法，本发明利用有机膦酸羧酸钠显影促进剂分子中同时具有膦酸钠和羧酸钠官能团，可以降低促进剂的用量，引入膦酸钠基团有利于稳定甲基苯并三氮唑银盐分解后的体系pH，具有显著降低显影温度和提高显影密度的优点，同时避免传统单一羧酸钠显影促进剂存在的起灰雾的缺点。本发明的显影促进剂，生产条件简单，反应处理过程简便，产率高，成本低廉，实施可行性高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种避免变压器零件渗水的设备

当前第 / 件

一种过零分断高压真空断路器

同领域国内专利 · IPC: (C07F9_30)

C07F9_00 C07F9_09 C07F9_10 C07F9_117 C07F9_12 C07F9_17 C07F9_22 C07F9_24 C07F9_30 C07F9_32 C07F9_36 C07F9_38 C07F9_40 C07F9_44 C07F9_46 C07F9_50 C07F9_53 C07F9_54 C07F9_572 C07F9_576 C07F9_58 C07F9_59 C07F9_60 C07F9_62 C07F9_6506 C07F9_6521 C07F9_653 C07F9_6539 C07F9_6541 C07F9_655 C07F9_6553 C07F9_6558 C07F9_6561 C07F9_6568 C07F9_6571 C07F9_6574 C07F9_6584 C07F9_659 C07F9_6593 C07F9_6596 C07F9_90 C07F9_94 覆盖42个领域

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