发明专利已授权

一种晶粒抛光装置夹持件

📄 申请号：CN201911094710.4 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2019-11-11

公开号

CN110682202A

公开日

2020-01-14

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_11

IPC 分类号

B24B37_11 , B24B37_27 , B24B37_34 ,

技术画像

所属领域

抛光设备抛光设备夹持机构晶粒加工

应用场景

半导体晶圆加工, 精密抛光, 晶粒制造, 工业自动化

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摘要

本发明公开了一种晶粒抛光装置夹持件，涉及一种抛光台，包括基座、抛光台，还包括夹持组件，夹持组件用于固定晶粒，夹持组件包括夹持部和与夹持部固定连接的支撑杆；升降组件，升降组件可调节夹持装置的高度。解决了人工手持可能会在剖光时出现误差，工作人员需要反复对剖光程度进行确认导致浪费时间的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种废旧纺织纤维非织造涂层材料的制备方法

当前第 / 件

一种气动仿生茶叶单芽采摘机械手

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_11)

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