发明专利已授权

一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法

Name: 一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2019106612786
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910661278.6 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2019-07-22

公开号

CN110389112A

公开日

2019-10-29

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_45

IPC 分类号

G01N21_45 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

测量装置激光干涉测量光学精密测量空气折射率测量测量装置

应用场景

精密测量, 半导体制造, 光学仪器校准, 长度计量, 环境监测

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摘要

本发明公开了一种高精度激光调制干涉空气折射率绝对测量装置及方法。单频激光器输出的激光经光隔离和正弦相位调制后，由侧向位移分光镜分成两平行光束，射向正弦相位调制干涉仪获得测量和补偿干涉信号，由两个探测器接收；长度可变真空腔放置在正弦相位调制干涉仪的测量光路中与光线传播方向平行，两平行光束分别经过真空腔内部真空光路和外部空气光路；测量时，直线位移工作台带动运动透光窗移动距离，实时计算两路干涉信号相位变化量，求出空气折射率。本发明测量精度高，抗环境干扰能力强，可广泛应用于激光干涉精密测量技术领域。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220809

✅ 授权

20191122

?? 实质审查的生效：

20191029

📄 公开

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