发明专利 已授权

一种石墨烯增强薄膜晶体管及其制备方法 石墨烯/薄膜晶体管/半导体/电子开关‌/平板显示屏/电脑显示屏/电子元器件 /电子元件/显示屏驱动元件)

📄 申请号:CN202011473181.1 📄 发布日:2026/09/15

著录项目信息

申请日
2020-12-15
公开号
CN112599672A
公开日
2021-04-02
申请人
惠州学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

显示面板, 集成电路, 柔性电子, 传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域。一种石墨烯增强薄膜晶体管的制备方法,包括以下步骤:在衬底上制备石墨烯薄膜;石墨烯薄膜图形化;在图形化后的石墨烯薄膜表面制备底电极;在底电极和石墨烯薄膜表面生长有机半导体材料,形成功能层;在功能层表面采用电子束蒸镀制备顶电极;在顶电极和功能层表面旋涂PMMA薄膜,形成保护层。本发明制备方法具有良好的可控性,通过在衬底上预设石墨烯薄膜,可诱导有机半导体材料的有序取向,提高了有机半导体材料的成膜质量,从而有效提高了器件的整体性能。制备而成的薄膜晶体管具有双层电极结构,电子注入效率高,可提高晶体管的饱和输出电流和整体性能。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H01L51_05)

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