发明专利已授权

一种石墨烯增强薄膜晶体管及其制备方法

📄 申请号：CN202011473181.1 📄 发布日：2026/05/18

著录项目信息

申请日

2020-12-15

公开号

CN112599672A

公开日

2021-04-02

申请人

惠州学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L51_05

IPC 分类号

H01L51_05 , H01L51_10 , H01L51_40 ,

技术画像

所属领域

薄膜晶体管薄膜晶体管石墨烯材料半导体器件

应用场景

显示面板, 集成电路, 柔性电子, 传感器

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摘要

本发明属于传感器技术领域。一种石墨烯增强薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤：在衬底上制备石墨烯薄膜；石墨烯薄膜图形化；在图形化后的石墨烯薄膜表面制备底电极；在底电极和石墨烯薄膜表面生长有机半导体材料，形成功能层；在功能层表面采用电子束蒸镀制备顶电极；在顶电极和功能层表面旋涂PMMA薄膜，形成保护层。本发明制备方法具有良好的可控性，通过在衬底上预设石墨烯薄膜，可诱导有机半导体材料的有序取向，提高了有机半导体材料的成膜质量，从而有效提高了器件的整体性能。制备而成的薄膜晶体管具有双层电极结构，电子注入效率高，可提高晶体管的饱和输出电流和整体性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

无人车重定位方法、装置、设备及存储介质

当前第 / 件

车道连接线生成方法、装置、电子设备和存储介质

同领域国内专利 · IPC: (H01L51_05)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：63 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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