发明专利已授权

一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法

📄 申请号：CN202111532741.0 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-12-15

公开号

CN114193318A

公开日

2022-03-18

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_08

IPC 分类号

B24B37_08 , B24B37_34 , B24B37_28 , B24B37_005 , B24B49_00 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

控制方法自动上下料系统自动化生产线自动控制系统控制方法

应用场景

蓝宝石衬底研磨, LED衬底加工, 半导体衬底加工, 精密研磨抛光, 智能制造

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摘要

本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

关于钻针折断力及弯曲疲劳的测试装置及其测试方法

当前第 / 件

一种表面含砂浆的再生骨料的视觉检测分类方法和系统

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_08)

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