发明专利已授权

一种光子晶体微腔与光波导侧向耦合的阵列传感结构

📄 申请号：CN202010025567.X 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2020-01-10

公开号

CN111157491B

公开日

2021-09-14

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41

技术画像

所属领域

光子晶体光子晶体光波导光学传感

应用场景

生物传感, 化学检测, 环境监测, 医疗诊断

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摘要

本发明公开了一种光子晶体微腔与光波导侧向耦合的阵列传感结构，所述阵列传感结构基于空气孔呈三角晶格的二维光子晶体结构进行设计的，所述二维光子晶体结构为圆形空气柱在硅板上呈三角形晶格进行周期排列而形成的二维光子晶体硅平板结构，通过移除中间一行的空气孔形成光子晶体线型波导W1，在W1波导两侧各引入三个光子晶体微腔，每个光子晶体微腔包括聚集呈边长小于晶格常数a的等边三角形排列的三个空气孔，并在垂直于三角形边长的垂线方向各放置一个小空气孔作为功能孔，所述功能孔半径r2小于空气孔半径R，本发明通过分析计算得到每个光子晶体微腔的品质因子Q和灵敏度S都分别超过1×104和120nm/RUI。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于分层控制策略的孤岛微电网分布式协调控制方法

当前第 / 件

一种利用电场加速耐候钢表面锈层稳定化的处理方法

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