发明专利已授权

工件微结构加工方法及金刚石微结构工件

📄 申请号：CN202011007335.8 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2020-09-23

公开号

CN112296524B

公开日

2022-04-29

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_352

IPC 分类号

B23K26_352 , B23K26_402 ,

技术画像

所属领域

超精密加工超精密加工微纳加工金刚石工具

应用场景

精密制造, 光学元件加工, 模具制造, 微机电系统, 表面工程

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摘要

本申请涉及一种工件微结构加工方法及金刚石微结构工件，通过控制激光发射装置将激光光斑照射至待加工的所述工件的待加工面，使得所述激光光斑按照第一预设轨迹运动，并使得加工平台按照第二预设轨迹运动，所述第二预设轨迹为以第一中心点为圆心的圆形轨迹，所述第一预设轨迹包括以多个不同的第二中心点为圆心的多个圆周运动轨迹；其中，所述第一中心点与多个不同的所述第二中心点根据所述激光发射装置的扫描振镜振动频率、扫描时间、所述第二预设轨、所述激光光斑的扫描速度映射转换成二维笛卡尔坐标数据，并将所述坐标数据曲线拟合得到。本申请的方法可以在金刚石工件上形成大长径比微柱结构。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种适用于大规模储能应用的水系铜离子电池

当前第 / 件

用于模拟舰载直升机助降的混联机构

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