发明专利已授权

一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法

📄 申请号：CN202310732581.7 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2023-06-20

公开号

CN117110290B

公开日

2025-08-12

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_88

IPC 分类号

G01N21_88 , G01N21_01 , G01B11_24 ,

技术画像

所属领域

检测系统光学检测缺陷检测干涉测量检测系统

应用场景

半导体晶圆检测, 工业表面缺陷检测, 精密制造质量检测, 材料表面形貌测量

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摘要

本发明公开了一种明暗场和白光干涉的缺陷检测系统和检测方法，该系统包括明暗场缺陷检测模块、白光干涉缺陷检测模块、传输模块和上位机模块。明暗场缺陷检测模块包括明场成像和暗场成像，通过逐点扫描实现图案化蓝宝石衬底的全局缺陷检出；根据明暗场缺陷检测模块的缺陷检出以及传输模块的缺陷定位，白光干涉缺陷检测模块实现缺陷的高精度定量检测。上位机模块包括传输模块的控制、图像采集控制以及图像数据处理模块，其图像数据处理模块包括明场图像和暗场图像的缺陷位置提取和白光干涉模块的缺陷三维形貌恢复；传输模块包括明暗场缺陷检测模块的逐点扫描检测提供位移和缺陷的定位。它不仅解决图案化蓝宝石衬底大范围缺陷检测而且能实现缺陷的三维形貌高精度测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铟金属有机骨架衍生的Pt/In2O3负载型催化剂及其制备方法、应用

当前第 / 件

一种机场行李全方位消毒的安检机

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_88)

G01N21_00 G01N21_01 G01N21_03 G01N21_07 G01N21_15 G01N21_17 G01N21_19 G01N21_21 G01N21_23 G01N21_25 G01N21_27 G01N21_29 G01N21_31 G01N21_33 G01N21_35 G01N21_3504 G01N21_3518 G01N21_3554 G01N21_3563 G01N21_3577 G01N21_3581 G01N21_3586 G01N21_359 G01N21_39 G01N21_41 G01N21_45 G01N21_47 G01N21_49 G01N21_53 G01N21_55 G01N21_552 G01N21_57 G01N21_59 G01N21_61 G01N21_63 G01N21_64 G01N21_65 G01N21_67 G01N21_69 G01N21_70 G01N21_71 G01N21_73 G01N21_75 G01N21_76 G01N21_77 G01N21_78 G01N21_79 G01N21_80 G01N21_81 G01N21_82 G01N21_84 G01N21_85 G01N21_86 G01N21_87 G01N21_88 G01N21_89 G01N21_892 G01N21_896 G01N21_898 G01N21_90 G01N21_91 G01N21_94 G01N21_95 G01N21_952 G01N21_954 G01N21_956 G01N21_958 覆盖67个领域

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