专利交易市场

本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构，而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔，并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失，保证热气团更好地发挥作用和降低功耗，另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电，这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定，可靠性高，性能也更好。

本发明属于传感器智能监测技术领域，具体涉及基于加速度传感器的乒乓球比赛裁判和球员训练系统及方法。包括乒乓球桌、设于乒乓球桌上的若干个加速度传感器节点单元、电路处理单元和数据分析单元。本发明首先采用粒子群优化算法LCSO计算确定传感器在球桌上的最佳分布方式，继而当乒乓球落在球桌上时，通过三个加速度传感器对震动强度的测定，确定落球接触点的位置并采用通过存储模块记录此点坐标，经过处理并转化成比分形式，进而给出判定是否得分。本发明具有不仅具有实时自动判分功能，而且可以通过存储和分析球员的所有落球位置，总结球员的打球习惯，从而实现指导和改进运动员打球方法目的的特点。

本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法，所述低阻尼电容式加速度传感器，由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构，通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距，克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题，有效提高了所制备加速度传感器的初始电容；并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构，与已报道的矩形凹槽结构相比，大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大，阻尼小，噪声低，灵敏度高，制作工艺简单，可以降低成本。

本实用新型涉及一种基于加速度计的云台姿态调平系统，包括壳体、驳接板和具有升降功能的支架，壳体上部与驳接板转动连接，壳体底部与支架转动连接，壳体内部设置有主控单元、检测单元、显示单元和执行单元，检测单元用于检测云台三轴姿态，主控单元用于计算云台航向轴、横滚轴以及俯仰轴角度，显示单元用于显示云台姿态角度，执行单元包括环向转动机构和纵向转动机构。本实用新型设置有主控单元、检测单元、显示单元和执行单元，检测单元用于敏感云台三轴姿态，主控单元计算云台姿态角度，工作人员对照显示单元数据通过执行单元对云台进行调平作业，从而提高了云台调平作业的精确度，减轻了工作强度。