发明专利 已授权

一种基于深度学习的全自动扫描隧道显微镜控制方法

📄 申请号:CN202310838644.7 📄 发布日:2026/08/18

著录项目信息

申请日
2023-07-10
公开号
CN116863228B
公开日
2025-11-18
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

所属领域

应用场景

材料表面表征, 纳米科学研究, 半导体检测, 精密仪器自动化, 自动显微成像

摘要

本发明公开了一种基于深度学习的全自动扫描隧道显微镜控制方法,主要是将STM与深度学习相结合,由基于标准样品的探针分类模块、基于强化学习的针尖修复模块、自动扫描模块三部分所组成,首先控制探针逼近标准样品,进行扫描成像;其次将扫描后的图像送入探针分类模块,以此输出探针针尖的状态;若状态不好,则送入针尖修复模块,否则进入自动扫描模块,对未知样品进行扫描成像。本发明可以对未知样品实现全自动扫描,提升扫描效率;全自动分区域扫描,实现对未知样品表面扫描的全覆盖;自动判断针尖状态并修复探针,减少重复体力劳动,降低STM对操作人员的技术要求。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:37 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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