发明专利已授权

一种液态流动涂层辅助激光背向湿刻加工低锥度玻璃深孔的装置及方法

📄 申请号：CN201910767157.X 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2019-08-20

公开号

CN110640337B

公开日

2021-06-22

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_382

IPC 分类号

B23K26_382 , B23K26_362 , B23K26_70 , B23K26_18 ,

技术画像

所属领域

激光加工激光加工湿法刻蚀玻璃微细加工

应用场景

微机电系统制造, 微流控芯片加工, 半导体封装, 光学器件制造, 生物医疗器械加工

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摘要

本发明公开了一种液态流动涂层辅助激光背向湿刻加工低锥度玻璃深孔的装置及方法，属于特种加工中的激光加工领域，包括激光化学复合加工系统以及控制系统；为解决透明硬脆材料对激光吸收效率低的问题，本发明采用加入染色剂的碱性溶液，可提高材料加工区域对激光的吸收率，减小材料的内应力累积。相较于普通固体涂层只能在激光冲击的瞬间起作用，本方法提出的液态流动涂层能够自适应激光加工痕迹，涂层可随着激光打孔的深度变化，实现持续作用，尤其适用于加工深孔。本方法充分利用了激光预加工的正面效果，与现有方法比较，成本低廉，可显著降低深孔锥度，提高深孔的孔壁质量，并提高激光的能量利用率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有浸润各向异性的不锈钢超疏水表面的制备方法

当前第 / 件

一种仿生贴片传感器及其制备方法和检测方法

同领域国内专利 · IPC: (B23K26_382)

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