发明专利已授权

一种基于光致发光光谱仪的材料检测光学系统

📄 申请号：CN202510640434.6 📄 发布日：2026/03/13

著录项目信息

申请日

2025-05-19

公开号

CN120177443B

公开日

2025-08-22

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_64

IPC 分类号

G01N21_64 , G01J3_02 , G01J3_04 , G01J3_44 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

光致发光光谱技术光致发光光谱技术光学系统设计光谱检测技术

应用场景

材料科学研究, 半导体材料检测, 发光材料分析, 工业无损检测

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摘要

本发明涉及一种基于光致发光光谱仪的材料检测光学系统，包括会聚部、二向色镜、荧光会聚镜、入射狭缝、光谱仪，其中光谱仪包括第一凹面反射镜、闪耀光栅、第二凹面反射镜，所述会聚部包括沿光路依次排列的第一透镜和第二透镜，所述第一凹面反射镜和所述第二凹面反射镜为离轴凹面反射镜，通过会聚透镜会聚后的光束经过所述材料样品，样品经过光束激发后产生荧光，经过所述二向色镜反射后经过所述会聚透镜，会聚后光束经过所述入射狭缝入射至第一凹面反射镜反射后，经所述闪耀光栅进行光束分光，分光后经所述第二凹面反射镜，最后经探测部探测。本发明的光致发光光谱仪的材料检测光学系统能够实现宽光谱范围的材料光学分析或测试，且具有小型化、轻量化的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高分辨率印刷检测显微镜物镜

当前第 / 件

一种基于拉曼光谱仪的材料检测光学系统

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_64)

G01N21_00 G01N21_01 G01N21_03 G01N21_07 G01N21_15 G01N21_17 G01N21_19 G01N21_21 G01N21_23 G01N21_25 G01N21_27 G01N21_29 G01N21_31 G01N21_33 G01N21_35 G01N21_3504 G01N21_3518 G01N21_3554 G01N21_3563 G01N21_3577 G01N21_3581 G01N21_3586 G01N21_359 G01N21_39 G01N21_41 G01N21_45 G01N21_47 G01N21_49 G01N21_53 G01N21_55 G01N21_552 G01N21_57 G01N21_59 G01N21_61 G01N21_63 G01N21_64 G01N21_65 G01N21_67 G01N21_69 G01N21_70 G01N21_71 G01N21_73 G01N21_75 G01N21_76 G01N21_77 G01N21_78 G01N21_79 G01N21_80 G01N21_81 G01N21_82 G01N21_84 G01N21_85 G01N21_86 G01N21_87 G01N21_88 G01N21_89 G01N21_892 G01N21_896 G01N21_898 G01N21_90 G01N21_91 G01N21_94 G01N21_95 G01N21_952 G01N21_954 G01N21_956 G01N21_958 覆盖67个领域

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