实用新型 已授权

一种自真空硬密封双层旁路阀门

📄 申请号:CN201821300057.3 📄 发布日:2026/04/02

著录项目信息

申请日
2018-08-13
公开号
CN208703393U
公开日
2019-04-05
申请人
江苏海伦环保设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空系统, 半导体制造, 化工流体控制, 管道输送

摘要

本实用新型涉及阀门,具体涉及一种自真空硬密封双层旁路阀门,包括基座、出气管以及真空洁净空气平衡装置,在所述基座上设有气缸,所述气缸的芯棒穿过所述基座并与预设在所述基座下端的连接柱连接,在所述连接柱的下端设有通孔,在所述通孔的上端设有滑槽,在所述基座的下端设有罐体,在所述罐体的上端设有若干泄气孔,本实用新型结构简单、效率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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