摘要
本发明公开了一种氯硅烷及石英联合制备的方法,包括以下步骤:(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离,得到成品硅粉;(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应,制备氯硅烷,得到第一反应残渣;(3)将第一反应残渣与氧气或氯气进行高温氧化反应或高温氯化反应,进行气固分离,得到第二反应残渣;(4)将第二反应残渣进行酸浸,除去金属氧化物杂质,得到悬浮液;(5)对悬浮液进行固液分离,得到固体二氧化硅;(6)将固体二氧化硅加热至熔融,冷却后得到熔融石英。本发明对金刚线切割硅片的砂浆中的硅元素进行充分的回收利用,降低了硅元素的浪费;实现了多晶硅产业链中硅元素的循环利用,杜绝了环境污染,降低了氯硅烷的生产成本。