发明专利已授权

生产SiOx的装置及方法

📄 申请号：CN201910232053.9 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2019-03-26

公开号

CN111747416A

公开日

2020-10-09

申请人

新特能源股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B33_113

IPC 分类号

C01B33_113

技术画像

所属领域

硅氧化物制备硅氧化物制备真空蒸镀技术粉体材料工程

应用场景

锂离子电池, 动力电池, 储能系统, 半导体材料, 光学镀膜

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摘要

本发明公开了一种生产SiOx的装置及方法，装置包括：反应单元；气体出料单元；收集单元；调温机构；抽真空单元。本发明的方法，能实现SiOx的连续生产，易实现自动控制，提高生产效率，制得性能良好的SiOx材料，原料中的难挥发杂质通过反应单元底部残渣去除，通过合理控制反应单元、气体出料单元及收集单元的温度，使大部分易挥发杂质保持气体状态，从收集单元的第一出口排出。本发明装置独特的设计，实现了全流程连续生产，有利于扩大产能，减小设备投入。根据生产特性对细节进行的特殊设计，可以提高产品质量，实现设备长周期稳定运行。由于连续运行省去了启炉加热、停炉冷却等时间和能耗，从而可以提高生产效率，降低能耗。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种PUCCH时延累积存储器、功率控制方法和基站

当前第 / 件

氯硅烷及石英联合制备的方法

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