实用新型已授权

一种便于切换的SVG显影喷淋机构

📄 申请号：CN202222193864.2 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-08-20

公开号

CN219811127U

公开日

2023-10-10

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_30

IPC 分类号

G03F7_30

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备光刻显影设备湿法处理设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 光刻制程, 显影工艺, 集成电路制造

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摘要

本实用新型公开了一种便于切换的SVG显影喷淋机构，其包括：喷淋箱、滑座、横移驱动装置、载台、显影液喷头和纯水喷头，所述滑座可横移地设置在喷淋箱中并位于载台的上方，所述显影液喷头和纯水喷头横向前后间隔设置在滑座上并分别指向下方，所述滑座上竖向设置有推板，所述横移驱动装置横向连接在推板与喷淋箱内壁之间，所述喷淋箱中设置有纵向延伸的第一导流板和第二导流板，所述第一导流板位于显影液喷头前移的路径下方，所述第二导流板位于纯水喷头后移的路径下方。本实用新型所述的便于切换的SVG显影喷淋机构，可以进行显影液喷头和纯水喷头的切换，并避免残留的显影液或纯水滴落在硅片上的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种有利于散热的半导体封装结构

当前第 / 件

一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_30)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：52 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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