实用新型已授权

一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构

📄 申请号：CN202222027635.3 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-08-03

公开号

CN217709769U

公开日

2022-11-01

申请人

张家港意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C30B31_16

IPC 分类号

C30B31_16

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备气体供给装置扩散炉

应用场景

半导体制造, 集成电路工艺, 扩散工艺, 外点火尾气处理

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摘要

本实用新型公开了一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其包括：O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀，让小流量的N2先进入DCE源，置换出DCE，进行DCE和O2的提前混合，减少碳化现象。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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