实用新型已授权

一种涂胶显影机的硅片支托装置

Name: 一种涂胶显影机的硅片支托装置
Brand: 如东汇盛通半导体科技有限公司
SKU: 2022229287955
Availability: InStock

📄 申请号：CN202222928795.5 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2022-11-03

公开号

CN218547249U

公开日

2023-02-28

申请人

如东汇盛通半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_30

IPC 分类号

G03F7_30

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆支撑结构涂胶显影设备

应用场景

半导体制造, 晶圆涂胶, 光刻显影, 集成电路制造, 晶圆加工

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种涂胶显影机的硅片支托装置，该硅片支托装置安装于硅片转移机械手的执行端上，所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有至少两层安装面，各安装面构成台阶状，每层安装面上安装有至少三个支撑块，每个支撑块的底部均设置有用于支撑硅片的支撑片，每个支撑块上均设置有对硅片边缘进行定位的定位圆弧面，同层安装面上的支撑块的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置；该装置能在对不同尺寸硅片进行支托，省去了更换支托环的繁琐，且能对硅片进行准确定位，提高精确度和效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN218547249U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种涂胶显影机的涂胶装置

当前第 / 件

一种涂胶显影机的涂胶腔体清洗装置

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_30)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：4 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种涂胶显影机的硅片支托装置

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_30)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种家具生产用涂胶机构

一种匀胶显影机的硅片转移装置

一种涂胶显影机的涂胶腔体清洗装置

服务项目

资源中心

关于柿子坊