发明专利已授权

一种基于CNTs超表面的THz波传感器、制备方法及其用途

📄 申请号：CN202010436778.2 📄 发布日：2026/05/28

著录项目信息

申请日

2020-05-21

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_59

IPC 分类号

G01N21_59

技术画像

所属领域

太赫兹波传感器太赫兹波传感器碳纳米管材料超表面结构

应用场景

太赫兹波检测, 生物传感, 化学物质检测, 无损检测, 通信传感

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摘要

本发明公开了一种基于CNTs超表面的THz波传感器，包括衬底，衬底上覆盖有薄膜层，薄膜层上刻蚀有矩形孔阵结构，薄膜层上覆盖有封装层。具有二维周期性对称矩形孔阵结构，结构简单，方便加工；工艺简单，易于实现；用于检测农药残留量，检测方法简单，检测精度高且具有良好的可靠性、稳定性，最低灵敏度为2.0×10‑3/ppm，误差为0.13％。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230425

✅ 授权

20201020

?? 实质审查的生效：

20200922

📄 公开

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