发明专利已授权

一种基于纳米同轴波导管的光纤氢气传感器及其制备方法

📄 申请号：CN202110629305.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-06-07

公开号

CN113324949B

公开日

2022-05-10

申请人

天津博益气动股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41

技术画像

所属领域

光纤传感技术光纤传感技术纳米波导器件气体传感器

应用场景

氢能安全, 工业气体监测, 燃料电池, 石油化工, 实验室安全

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摘要

本发明公开了一种基于纳米同轴波导管的光纤氢气传感器及其制备方法，涉及气体传感器技术领域。该光纤氢气传感器由光纤、设置于光纤端面上的周期性环形同轴波导管阵列结构以及包裹于周期性环形同轴波导管阵列结构外侧的钯层组成。通过光谱仪检测微结构激发表面等离激元共振的波长位置的移动判断氢气浓度的变化，以高灵敏度的光学检测方法测量氢气，同时具有高稳定、低外界干扰的特性。相比于现有氢气传感器，本发明中的结构和制备方法灵敏度高，可靠性高，成本低，体积小，功耗低，易于组成传感网络等。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于动态知识网的制造系统自适应组织方法

当前第 / 件

一种超声波风速风向测量方法

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_41)

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