发明专利已授权

一种基于双层凹型光栅结构的高通量集成光学传感器

📄 申请号：CN202210555112.8 📄 发布日：2025/11/17

著录项目信息

申请日

2022-05-19

公开号

CN114965362B

公开日

2025-09-16

申请人

河北工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41

技术画像

所属领域

光学传感器衍射光栅技术集成光学器件光学传感技术传感器光学传感器

应用场景

光谱分析, 生物医学检测, 环境监测, 光通信, 化学分析

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摘要

本发明公开了一种基于双层凹型光栅结构的高通量集成光学传感器，包括两层复合光栅层和中间夹层，两层复合光栅层分别在所述中间夹层的上、下面，所述复合光栅层为凹型光栅结构，包括若干周期性单元，每个周期性单元包括若干周期或非周期排列的微纳光栅，所述微纳光栅远离中间夹层的一端刻蚀凹槽，所述微纳光栅的光栅横截面为凹型，相邻两个微纳光栅之间具有气隙。本发明基于当前光学传感器的研究现状和谐振波导光栅的优势，结构简单，制备方便，通过设计凹型光栅结构，实现对不同模式的调控。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

多接入虚拟边缘计算中基于双边匹配的虚拟机布设方法

当前第 / 件

一种土地资源勘探装置

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_41)

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议价

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