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发明专利
已授权
存储器的结构及其形成方法
📄 申请号:CN201910744048.6
📄 发布日:2025/09/08
著录项目信息
申请日
2019-08-13
公开号
CN110429084B
公开日
2022-04-26
申请人
淮安西德工业设计有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L27_112
IPC 分类号
H01L27_112
技术画像
所属领域
半导体存储器件
半导体存储器件
存储器制造工艺
集成电路
应用场景
数据中心, 消费电子, 云计算, 嵌入式系统
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摘要
一种存储器及其形成方法,结构包括:衬底,所述衬底内具有相邻的第一阱区和第二阱区,所述第一阱区和第二阱区的掺杂类型相反;位于第一阱区和第二阱区内的第一沟槽,且所述第一沟槽自第一阱区延伸至第二阱区;位于所述第一沟槽内的字线栅极结构;位于所述字线栅极结构表面的第一隔离层,所述第一隔离层填充满所述第一沟槽;位于第一阱区内的第二隔离层;位于第一阱区内的源线掺杂区,所述源线掺杂区位于所述第一隔离层和第二隔离层之间;位于第二阱区表面的位线栅极结构。所述存储器的占用面积得到改善。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
图像传感器的形成方法
当前第 / 件
图像传感器及其制作方法
同领域国内专利 · IPC: (H01L27_112)
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覆盖
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📌 交易状态:
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