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| 专利/申请号： | CN202321060363.5 | 专利名称： | 一种可实现同步多工件镀膜的镀膜工装 |
| 申请日： | 2023-05-06 | 申请/专利权人 | 吉林省天泽工业自动化有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 吉林省长春市高新开发区超群街191号孵化大厦A座314室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/50 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-11-10 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN219991710U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 12 | 所属领域： | 表面处理技术 真空镀膜设备 工业自动化 实现专利转让搜索 |
应用场景：半导体芯片制造中的金属层沉积;光学元件批量增透膜制备;新能源电池极片功能涂层加工;消费电子外观装饰性薄膜生产;精密零部件防腐蚀处理
摘 要：本实用新型公开一种可实现同步多工件镀膜的镀膜工装，属于二氧化硅晶体镜加工技术领域，包括圆盘架，所述圆盘架的外侧均匀开设有小孔，所述圆盘架的内侧均匀开设有大孔。本实用新型圆盘架上均匀开设的小孔、中孔、大孔配合其内部套筒、活塞、气管、吸盘、复位弹簧、单向排气阀组成的负压吸取机构的设置，替代了传统的卡槽定位的限位方式，能够方便对不同大小的晶体镜进行固定，使用更加方便，另外利用吊杆内部的气腔配合气管、密封塞以及单向进气阀组成的进气机构与套筒的内部导通，使得在对工件拆卸的过程中，能够同时对套筒的内部充气，将活塞复位，吸盘失去对工件的吸力，将工件取下，工件的提取更加方便，提高了镀膜加工的速率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2021216728847 | 【实用新型】一种磁控溅射箱体的密封装置 | 2025/09/19 |
| 2021213641485 | 【实用新型】一种磁控溅射箱体的冷却装置 | 2025/09/19 |
| 2021110670781 | 【发明】一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺 | 2025/09/19 |
| 202223575551X | 【实用新型】一种PVD真空镀膜机 | 2025/09/17 |
| 2022234548419 | 【实用新型】一种液压阀杆高效镀膜装置 | 2025/09/17 |
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| 2020220454690 | 【实用新型】一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置 | 2025/09/17 |
