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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202411262937.6 | 专利名称: | 一种半导体芯片浸蚀装置 |
申请日: | 2024-09-10 | 申请/专利权人 | 青岛黑羽科技有限责任公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省青岛市市北区铁山路21号167室 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2024-12-17 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN119153362A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种半导体芯片浸蚀装置,包括底座,所述底座上安装有浸蚀箱,所述浸蚀箱内盛装有浸蚀液,所述浸蚀箱内设有能够复位的过滤箱,所述过滤箱的底部贯穿设有排液槽,所述排液槽内安装有滤网,所述过滤箱内安装有能够拆卸的支撑板,所述支撑板上贯穿设有放置孔,所述支撑板的底部固定有支撑网,所述支撑网对放置孔进行封堵,在放置孔内放置半导体芯片能够被支撑网支撑,所述底座上安装有能够上下移动的移动箱。本发明电机持续性工作能够对浸蚀中的半导体芯片进行脉冲式冲刷以及对其表面脉冲式清理,半导体芯片浸蚀完成上移的过程中可以对悬浮物进行收集,同时可以对半导体芯片表面进行风干以及清理。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |