发明专利已授权

一种基于材料热胀冷缩原理的二自由度微动平台装置

📄 申请号：CN202011076521.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-10-10

公开号

CN112192544B

公开日

2023-06-06

申请人

金陵科技学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B25J5_02

IPC 分类号

B25J5_02 , B25J9_16 , B25J13_08 , B25J19_00 ,

技术画像

所属领域

精密定位技术精密定位技术微位移驱动柔性机构设计

应用场景

精密加工, 半导体制造设备, 光学对准, 微纳制造, 精密测量

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摘要

本发明涉及一种基于材料热胀冷缩原理的二自由度微动平台装置，包括基座与Y向导轨，Y平台装在Y向导轨上，Y向热致伸缩轴固定在基座与Y平台之间，Y向热致伸缩轴能够带动Y平台升降滑动，X向导轨固定在Y平台上，X平台装在X向导轨上，X向热致伸缩轴固定在X平台与Y平台之间，X向热致伸缩轴能够带动X平台左右滑动；在X向和Y向热致伸缩轴中布设温度传感器，电热丝均匀缠绕在X向和Y向热致伸缩轴的外壁上，电热丝接电热丝控制器，温度传感器接数据采集卡，电热丝控制器接运动控制卡，数据采集卡和运动控制卡接计算机。通过控制热致伸缩轴的温度，使热致伸缩轴产生精准的热变形，间接地控制平台的位置，可将定位精度提高到纳米级。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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