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摘 要:本实用新型公开了—种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,包括箱体、第一隔板、加料管、进液管、第二隔板和总回液管,所述箱体内顶部和内底部之间通过第二隔板进行分隔,所述箱体内壁一端与第二隔板之间靠近底部处连接有第一隔板,所述箱体内底部一端通过螺栓安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端连接有旋转轴,所述旋转轴贯穿第一隔板且顶端外侧连接有叶片,所述箱体内顶部靠近所述第二隔板一端处通过固定座安装有水泵,所述水泵的进液口连接有吸液管,所述吸液管位于第一隔板顶部一端上侧。该新型具备能对蚀刻后的废液进行处理再利用的结构,能方便对蚀刻废液进行循环利用,更加环保,适合广泛推广使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320330126.X | 专利名称: | 一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置 |
申请日: | 2023-02-24 | 申请/专利权人 | 东莞市海风电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省东莞市常平镇司马环保工业路5号厂房40栋403室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23F1/46搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-06-20 | 转让价格: | 2500.0元 |
公开/公告号: | CN219218159U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |