实用新型已授权

一种应用于蚀刻机的除尘装置

📄 申请号：CN202320310285.3 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2023-02-22

公开号

CN219335198U

公开日

2023-07-14

申请人

东莞市海风电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , B08B5_04 ,

技术画像

所属领域

除尘装置半导体制造设备蚀刻设备除尘技术除尘装置

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 蚀刻工艺, 洁净室

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摘要

本实用新型公开了一种应用于蚀刻机的除尘装置，包括吸尘机构和吹尘机构，所述吸尘机构设在蚀刻机的上部，所述吸尘机构包括安装在蚀刻机上的吸尘罩、吸尘风机、吸尘管组件和集尘箱，所述吸尘风机的吸尘口与吸尘管组件连接，所述吸尘风机上设有排尘口，所述排尘口上连接有排尘管，所述吹尘机构设在蚀刻机的一侧，所述吹尘机构包括吹尘风机和喷头，所述吹尘机上连接有吹尘管，所述吹尘管的末端与喷头连接。本实用新型使用先吹后吸二合一除尘方式，能先将吸附在蚀刻机内或者工件表面的灰尘吹起来，然后再通过吸尘机构将灰尘吸附排放于集尘箱中，达到彻底清除的效果，避免工件造成污染。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230714

✅ 授权

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：145 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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