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| 专利/申请号： | CN201510816501.1 | 专利名称： | 悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法 |
| 申请日： | 2015-11-20 | 申请/专利权人 | 南京邮电大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省南京市新模范马路66号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/762 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2018-08-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN105428305B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 122 | 所属领域： | LED 波导专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供一种悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导探测器单片集成器件，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的硅衬底悬空LED光波导探测器单片集成器件。本发明器件将光源、光波导和光电探测器集成在同一芯片上，LED器件发出的光，侧向耦合进光波导，通过光波导传输，在波导另一端被光电探测器检测到，实现平面光子单片集成器件，应用于光通信和光传感领域。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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