发明专利已授权

电隔离结构及其制备方法

📄 申请号：CN202011422763.7 📄 发布日：2025/08/28

著录项目信息

申请日

2020-12-08

公开号

CN112537754B

公开日

2021-10-22

申请人

江苏创芯海微科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81B7_02

IPC 分类号

B81B7_02 , B81B7_00 , B81C1_00 , B82Y30_00 ,

技术画像

所属领域

半导体器件半导体器件集成电路制造工艺半导体隔离结构

应用场景

集成电路, 功率半导体器件, 微电子器件, 半导体芯片制造, 光电子器件

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摘要

本发明涉及一种电隔离结构及其制备方法。在光学器件的光吸收区制备高吸收结构，电隔离结构的电极纳米森林包围器件电极，在电极纳米森林上设置非连续的电极纳米森林金属层；电极纳米森林具有大深宽比，金属溅射或蒸发工艺的不完全保型性，电极纳米森林的侧壁无法被完全覆盖，金属薄层无法形成连续薄膜，即能在电极纳米森林上制备得到非连续的电极纳米森林金属层。由于制备得到的电极纳米森林本身不导电，因此，覆盖了非连续的电极纳米森林金属层的电极纳米森林仍具有绝缘性，从而能有效实现器件电极之间的电隔离，与现有工艺兼容，安全可靠。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种定子清洗治具机电、电机） 1月26日

当前第 / 件

一种植物授粉装置

同领域国内专利 · IPC: (B81B7_02)

B81B7_00 B81B7_02 B81B7_04 覆盖3个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：124 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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