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摘 要:本发明涉及一种电隔离结构及其制备方法。在光学器件的光吸收区制备高吸收结构,电隔离结构的电极纳米森林包围器件电极,在电极纳米森林上设置非连续的电极纳米森林金属层;电极纳米森林具有大深宽比,金属溅射或蒸发工艺的不完全保型性,电极纳米森林的侧壁无法被完全覆盖,金属薄层无法形成连续薄膜,即能在电极纳米森林上制备得到非连续的电极纳米森林金属层。由于制备得到的电极纳米森林本身不导电,因此,覆盖了非连续的电极纳米森林金属层的电极纳米森林仍具有绝缘性,从而能有效实现器件电极之间的电隔离,与现有工艺兼容,安全可靠。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011422763.7 | 专利名称: | 电隔离结构及其制备方法 |
申请日: | 2020-12-08 | 申请/专利权人 | 江苏创芯海微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B81B7/02搜分类 电子电气工程 电气隔离 电力 隔离器 绝缘器 电气元器件 电气元件 配电 电气自动化搜索 |
公开/公告日: | 2021-10-22 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112537754B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |