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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202322601185.9 | 专利名称: | 一种半导体晶圆光学检测设备和系统 |
申请日: | 2023-09-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/683分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本实用新型公开了一种半导体晶圆光学检测设备和系统,涉及晶圆检测技术领域,包括检测模组、第一移动板和取样环,所述检测模组下方设有移动模组,所述移动模组一侧设有固定杆,所述固定杆上方设有固定块,多个驱动模块配合第一移动板和第二移动板可以将晶圆在移动模组、观察模组与放置模组之间拿取移动,托举与气动吸取晶圆的方式更加稳定,减少了晶圆在移动时产生的磨擦,提高了装置的安全性,且交叉重叠放置的第一移动板和第二移动板更加节省空间。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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