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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202322601185.9 | 专利名称： | 一种半导体晶圆光学检测设备和系统 |
| 申请日： | 2023-09-25 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/683 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 72 | 所属领域： | 半导体 光学检测设备专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了一种半导体晶圆光学检测设备和系统，涉及晶圆检测技术领域，包括检测模组、第一移动板和取样环，所述检测模组下方设有移动模组，所述移动模组一侧设有固定杆，所述固定杆上方设有固定块，多个驱动模块配合第一移动板和第二移动板可以将晶圆在移动模组、观察模组与放置模组之间拿取移动，托举与气动吸取晶圆的方式更加稳定，减少了晶圆在移动时产生的磨擦，提高了装置的安全性，且交叉重叠放置的第一移动板和第二移动板更加节省空间。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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