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摘 要:本发明涉及一种异质结紫外激光二极管制备技术,特指结合镀膜技术和飞秒激光技术,制备尖锥形p?NiO/n?ZnO异质结。本发明先利用热氧化在镍片上形成NiO层,然后利用原子层沉积方法制备ZnO层,再在n?型ZnO层外利用溅射方法形成氧化铟锡(ITO)透明上电极,最后利用飞秒激光加工技术在覆盖有NiO/ZnO/ITO层的镍片上形成尖锥形阵列,即形成尖锥形p?NiO/n?ZnO异质结,在镍片底部和ITO上加上电压,即可实现电致发光。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201310141917.9 | 专利名称: | 尖锥形氧化锌/氧化镍异质结二极管的制备方法 |
申请日: | 2013-04-22 | 申请/专利权人 | 常州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省常州市武进区滆湖路1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L33/00搜分类 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2016-08-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN103280498B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |