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发明专利
已授权
基于混合腔的F-P光纤干涉仪湿度与横向压力传感器
📄 申请号:CN202010098515.5
📄 发布日:2026/08/10
著录项目信息
申请日
2020-02-18
公开号
CN111239078B
公开日
2022-09-27
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N21_45
IPC 分类号
G01N21_45
,
G01L11_02
,
G01L1_24
,
技术画像
所属领域
压力传感器
压力传感器
应用场景
环境监测, 工业过程控制, 结构健康监测, 航空航天结构监测, 电力设备监测
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摘要
本发明是基于混合腔的F‑P光纤干涉仪湿度与横向压力传感器,包括导入光纤、空气泡腔和琼脂腔,导入光纤端面嵌入空气泡腔内,空气泡腔外表面远离导入光纤一侧粘覆有琼脂腔;导入光纤用于导入光源信号和传输反射光,导入光纤导入的光源信号在导入光纤端面与空气的分界面上发生第一次反射,第一次透射的光源信号经过空气泡腔在空气泡腔与琼脂腔的分界面上发生第二次反射,第二次透射的光源信号经过琼脂腔在琼脂腔与空气的分界面上发生第三次反射,第一次反射、第二次反射和第三次反射的光信号均通过导入光纤输出并发生干涉;通过湿度或压力变化导致的反射光谱强度的变化能够实现对湿度、横向压力的检测。该种传感器简单紧凑,可小型化,且制作成本低。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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