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| 专利/申请号： | CN201810531660.0 | 专利名称： | 一种低摩擦含氟洋葱碳膜及其直接在硅基底上制备的方法 |
| 申请日： | 2018-05-29 | 申请/专利权人 | 江苏大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省镇江市京口区学府路301号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-09-10 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108878260B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 75 | 所属领域： | 低摩擦专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种低摩擦含氟洋葱碳膜及其直接在硅基底上制备的方法，首先采用阳极电泳沉积技术在硅片上制备出含氟有机羧酸分子膜，然后在惰性气体保护下对其进行退火处理，最终可以直接在硅基底上制备出具有优异摩擦学性能的洋葱碳材料。本发明所制备的洋葱碳纯度高，而且工艺简单，操作简便，成本低，能耗低，可控性好，具有可大批量生产、经济效益显著等优点，并且由于洋葱碳中含有可降低表面能的氟，因此能大幅度提高材料的摩擦学性能，适用于硅基MEMS/NEMS零部件的润滑。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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