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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202110468161.3 | 专利名称: | 一种金属强化多孔金刚石膜及其制备方法 |
申请日: | 2021-04-28 | 申请/专利权人 | 昆明理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 云南省昆明市五华区学府路253号昆明理工大学基础楼 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/27分类检索 多孔专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2023-02-21 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN113186510B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明公开了一种金属强化多孔金刚石膜及其制备方法,属于金刚石膜技术领域。本发明通过采用微波化学气相沉积技术,沉积出纳米或微米级金刚石膜,采用磁控溅射的方法在金刚石膜的表面,溅射一层氧化物,之后放入微波化学气相沉积系统中,用氢氩或氢等离子对其刻蚀,之后放入硝酸钠溶液中加热,对金刚石膜进一步刻蚀,并除去等离子刻蚀时产生的非金刚石相及金属纳米颗粒,再次磁控溅射铂、金等贵金属单质,最后放入微波化学气相沉积系统中将贵金属分散,得到形态较好的金属强化多孔金刚石膜。本发明方法简单、易于操作,制备的金刚石膜表面的多孔结构,并且填充的贵金属是良好的催化剂,在化学催化、传感器等领域具有广泛应用前景。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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