| 2025/04/21 |
202010438971X |
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
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领域：光学仪器
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/19 |
2022221120770 |
一种光刻网版快速夹头
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领域：光学仪器
分类：
G03F7/20
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1800.0元
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| 2025/03/19 |
2022221120766 |
一种光刻网版一出多版晒版工装
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领域：其他
分类：
G03F7/20
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1800.0元
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| 2025/02/20 |
202420246908X |
印刷晒版机用翻转机构
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领域：印刷材料
分类：
G03F7/20
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1700.0元
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| 2025/02/25 |
2022230415422 |
一种 LDI曝光机激光模组调节机构（报过项目）
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领域：激光
分类：
G03F7/20
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| 2024/10/30 |
2021100833848 |
一种光刻胶层的形貌检测方法及系统
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领域：其他
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/03 |
2021100175928 |
一种目标图形获取方法、装置及相关设备
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领域：光学器件 集成电路 半导体器件 光刻 半导体芯片 晶圆加工
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/03 |
2020111498266 |
套刻误差量测标记结构及其制程方法和套刻误差量测方法
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领域：半导体器件 光学器件 集成电路 半导体芯片 芯片制造 晶圆加工 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/03 |
2022109245013 |
一种晶片光刻机的干燥装置
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2025/03/03 |
2022108597072 |
一种光刻机的晶片输送装置
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2024/11/01 |
2022108081139 |
一种用于光刻机的晶片吸盘结构
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领域：半导体光刻机 硅晶片光刻系统 半导体设备 硅晶片
分类：
G03F7/20
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| 2024/11/12 |
2024202059827 |
一种高精度PCB曝光机
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领域：其他
分类：
G03F7/20
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| 2024/07/02 |
202121958708X |
一种激光全息光刻机用控制机箱
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领域：激光 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2024/07/02 |
2021219363318 |
一种带有抗震功能的激光全息光刻机
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领域：激光 光刻
分类：
G03F7/20
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| 2024/10/12 |
2022220638119 |
一种菲林输出的打印设备
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领域：制版打印显影
分类：
G03F7/20
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